什么是十級無塵車間?十級無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),不論外在環(huán)境條件如何變化,無塵車間內(nèi)均能維持設(shè)定所要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
半導(dǎo)體十級無塵車間
十級的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè),采用FFU滿布,利用超高效空氣過濾器,地板用高架地板制作。
十級無塵車間工程 高架地板工程
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